日本KOFLOC 3200系列質量流量控制器，是新型質量流量控制器，已在半導體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領域得到驗證。它是一種適用于新Cofflock標準的高性能型號。

日本KOFLOC 3200系列質量流量控制器：

應用于多個OEM設備場合，尤其適合微小流量測量，適用于燃氣低壓力、泄漏測試的低流量、半導體等使用，±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用，可定制0.02-1SCCM微小流量。

特點：

• 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現高精度，高速響應
• 采用常閉閥門，方向操作安全
• 采用隔膜閥，減少死體積
• F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項）
• 低壓差兼容燃氣控制（LP選項） 

日本KOFLOC 3200系列質量流量控制器

性能參數：

電器連接：

警告

流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。

 ★使用注意

一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。

五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作

尺寸圖：